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羅茨真空泵又稱機(jī)械增壓泵，是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個(gè)8字型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過(guò)一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)齒輪使二個(gè)轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結(jié)構(gòu)原理圖，從圖Ⅰ至Ⅳ為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過(guò)程。
羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓力時(shí)仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須與前級(jí)真空泵配套使用。當(dāng)前級(jí)真空泵將系統(tǒng)壓力抽到羅茨真空泵允許啟動(dòng)壓力時(shí)，才可啟動(dòng)羅茨真空泵。
根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級(jí)真空泵可采用油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等。配置不同類別的前級(jí)真空泵后羅茨真空泵所能達(dá)到的極限壓力有所不同。
羅茨真空泵可廣泛應(yīng)用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設(shè)備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽 、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。
1，抽氣速率系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，羅茨真空泵的入口壓力在67 pa～2.67 pa范圍內(nèi)所測(cè)得的抽氣速率。
2，極限壓力系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣，經(jīng)過(guò)充分抽氣后用壓縮式真空計(jì)在泵進(jìn)氣口處測(cè)得的穩(wěn)定的空氣分壓力的低值。
3，上表各性能是在配用推薦前級(jí)泵的條件下獲得的，用戶可根據(jù)不同情況，選用不同的前級(jí)真空泵，但其主要性能指標(biāo)會(huì)有所變化。
